موجود در انبار
دستگاه لیتوگرافی مجموعه ای بسیار کاربردی جهت ساخت ادوات بر پایه ی یووی-لیتوگرافی تماسی را به محققان و تولید کنندگان اراِئه میدهد .
همچنین این دستگاه شامل منبع نور موازی یو وی ماژول هم ترازی
فوتولیتوگرافی یا لیتوگرافی نوری (Photolithography) فرآیندی است که در میکروساختارها استفاده می شود که برای ساخت الگو در بخش‌هایی از یک فیلم نازک یا روی کل یک ویفر استفاده می‌شود. این فرایند بسیار شبیه به مهرسازی با نور فرابنفش است؛ و در صنعت ساخت ادوات الکترونیک نقش مهمی بازی می‌کند. در این فرایند ابتدا یک لایه پلیمری حساس به نور (فوتورزیست) روی سطح زیرلایه توسط دستگاه اسپین کوتینگ لایه نشانی می شود.
سپس ماسک مورد نظر روی زیرلایه قرار داده شده و نمونه توسط اشعه ماوراء بنفش دستگاه لیتوگرافی نوردهی می‌شود. طبق الگوی ماسک، پرتو همگن UV از ماسک عبور کرده فقط نواحی بخصوصی از لایه تحت تابش نور قرار میگیرند و طرح ماسک را روی پلیمر ایجاد می‌کند. در فرایند لیتوگرافی نوری پس از ایجاد طرح روی پلیمر واسط، نواحی نور دیده، با مقاومت یا تضعیف در برابر خوردگی، واسطه انتقال طرح به لایه زیرین می‌شوند. در فوتورزیست مثبت نور UV موجب تضعیف فوتورزیست شده و در فوتورزیست منفی موجب تثبیت فوتورزیست می شود. در نهایت در فوتورزیست مثبت قسمتهایی از لایه که در معرض نور قرار نگرفتهاند باقی میمانند و در فوتورزیست منفی ناحیه هایی که در معرض نور قرار گرفته اند، باقی میمانند. در حال حاضر فرایند اصلی ساخت ادوات الکترونیک بر پایه لیتوگرافی نوری فرا بنفش است، که با طیف طول موج‌های بین ۳۰۰ تا ۴۵۰ نانومتر سر و کار دارد.
موجود در انبار
در زیر می‌توانید پاسخ سوالات خود را بیابید. در غیر این صورت از ما بپرسید، ما همیشه به سوالات شما پاسخ خواهیم داد.
دستگاه لیتوگرافی تماسی با ماسک الاینر دستی
هنوز بررسی‌ای ثبت نشده است.